石英样品托架

石英样品托架是快速退火炉RTP系列配件,采用高纯度石英砂(99.95%)精密制造,高温环境下仍可保持稳定的化学性质。用于承载石墨托盘,也可以直接承载晶圆。适用于1-12英寸快速退火炉。
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产品特点

1、良好的光学透过率(红外短波,>90%),使其广泛应用于红外加热设备。

2、可为客户提供定制化的设计,以及冷加工、热加工等深度加工处理;


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