碳化硅石墨托盘

碳化硅石墨托盘是快速退火炉RTP系列配件,采用进口等静压石墨精密制造,可有效提高设备的温度均匀性(以嘉仪通RTP-3-08为例,温度均匀性可以从1.5%提升到1.0%)。
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1、耐高温

2、导热导电性好

3、化学性能稳定

4、高硬度


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