TC-Wafer校准仪

TC-wafer校准仪是一款应用于晶圆温场均匀性实时测量校准的仪器设备,并能生成报告。
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产品特点:

 支持最多20路实时测量晶圆温度;

 温度均匀性实时曲线图和数值显示;

 采集数据Excel表格导出,并生成报表;

 晶圆温点分布直观显示并自动生成校准报告;

 可快速更换TC-wafer及自定义功能;

 大屏高分辨率显示;

 数据最多采集10/秒;

 65Type-C快速充电;

 内置大容量电池,使用可达4小时;

 10000条数据存储量;

 支持多种传输方式,如U盘、蓝牙、无线网络;

 便携一体化设计;

       ......



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