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液氮低温恒温器(LNT-3）
液氮低温恒温器(LNT-3）
LNT-3系列液氮低温恒温器，是利用稳态气泡原理使样品处于恒定或按照所需方式变化的低温环境中，并能对样品进行一种或多种物理性能测量的低温恒温装置。
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冷热台（LND）
冷热台（LND）
冷热台（LND）系列，可实现连续变温及逐点控温，控温精度±0.1℃；通过控制热源（电阻加热器）和冷源（液氮）来维持样品所要求温度的一种装置，其采用PID调节与模糊控制相结合的方式进行温度控制，能有效实现大温区连续控制，按照既定程序升温及保温等。
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高低温探针台(LNP）
高低温探针台(LNP）
高低温探针台(LNP）系列，为小尺寸样品测量电特性，提供高精度可控的测量环境，帮助精准测量和分析判断晶圆器件的性能。可以实现基础测试、保护气氛电路测试、高低温真空探针台、超高频探针台、光电流分析、FA失效分析等测量和分析平台。
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