手动探针台LNP-3RT

探针台LNP-3RT为微米级小尺寸样品电特性测试提供高精度、高接触可靠性的可控测量环境。设备通过CMA中国计量认证。

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手动探针台LNP-3RT特点

探针台材质升级：主体材质航空级铝材；卡盘材质不锈钢（可选镀金），具备更小的接触电阻，更低的漏电流；

探针台台体升级：自适应减震台体，带标准地线，防止静电干扰；

标配精度高：卡盘X-Y行程精度1um，探针X-Y-Z行程精度1um；

快速升降操作：卡盘快速升降，便于快速分离探针；显微镜气动升降，便于更换物镜和探针卡夹具；

标配气浮式位移台：有效隔振，确保移动过程平稳，有效提升位移扎针精度；‌

多种卡盘可选：可选配高低温载片台系统，同轴/三轴/镀金卡盘可供选择，满足不同预算和多种应用场景需求；

针座平台升级：全新表面处理工艺，相比镀铬针座吸附力更强，提高测试精度，还可安装探针夹具，兼容探针卡测试；

多种探针座可选：不同调节精度（0.5um/0.7um/1um）针座可选，DC直流或RF射频探针座可选；

自带完整高清成像系统：多种类型显微镜可选，带高清CCD成像系统，可拍照，录像，标尺，可连接显示器实时观察；

快速拓展功能：可选配激光器进行失效分析/激光切割/激光打标；

手动探针台技术参数：

设备型号	LNP-3RT
卡盘大小	8英寸（可定制）
卡盘X-Y行程	200mm x 200mm
卡盘X-Y精度	1um
气浮X-Y位移台	标配
卡盘Z轴行程	快速升降5mm，微调6mm
卡盘旋转角度	粗调360°，精调±5°
探针X-Y-Z行程	12.5mm-12.5mm-12.5mm
探针X-Y-Z行程精度	1um
显微镜X-Y行程	2 英寸x 2 英寸
显微镜快速升降	快速升降50mm
显微镜类型	体式显微镜/正像显微镜/金相显微镜
CCD相机	2K清晰度（可拍照，录像，标尺）
探针座数量	最多6个（可定制）
卡盘吸附形式	环形或多孔真空吸附环
针座吸附方式	磁力吸附

应用对象：晶圆（Si/Ge/GaAs/InP/SiC/GaN等）、芯片（逻辑/数字/模拟/存储等）、集成电路、显示面板（LED/OLED/LCD等）、功率器件（IGBT、MOSFET等）、纳米器件、光电器件、分立器件（二极管、三极管、场晶体管等）、太阳能电池等；

应用方向：DC 直流/（IV、CV、漏电流）测试、介电温谱测试、FA失效分析测试、器件表征测试、芯片线路测试、MEMS微型机电系统测试、集成电路工程、PCB元器件、WLR晶圆级可靠性、老化测试、RF 射频测试、高精度电流（100fA 级）测试、高功率/大电流/高电压测试、光电测试、1/f 噪声测试等。

手动探针台联用仪器：源表/数字电桥/半导体参数分析仪/数字万用表/示波器/网络分析仪/频谱分析仪/阻抗分析仪等，根据需求提供联用方案！