Load Port晶圆装卸机
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对接晶圆载具：自动定位、吸附锁紧符合SEMI标准的FOUP/FOSB晶圆盒，消除人工对接误差，适配8/12寸等主流晶圆尺寸。
无尘开门传输：以低发尘的气动/气垫方式打开晶圆盒门，为机台机械手提供洁净的取放晶圆通道，全程几乎不产生颗粒污染。
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