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Sorter分选机

主要用于晶圆的自动化搬运、中转、分选与归类，保障晶圆物料流转的高效性与生产流程连续性。可完成晶圆上下线、制程前分批、制程后合并、制程间倒片管控，以及产品出厂校验、排序、料盒交换等操作。
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半导体先进制程
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设备内部可维持ISO Class 1级洁净环境，避免晶圆被污染、划伤，大幅降低人工操作带来的碎片风险。

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