颗粒测试仪

晶圆表面颗粒检测设备(Particle Analyzer, PA)利用激光散射与高精度光学成像技术,对无图形晶圆表面的颗粒、划痕、污渍等缺陷进行超高灵敏度检测。采用TDI螺旋扫描平台,结合深度学习AI算法实现颗粒的自动检测与智能分类,是先进制程晶圆良率控制的关键量测设备。
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