金相显微镜

全自动金相显微镜是半导体晶圆表面缺陷检测与材料微观分析的核心设备。支持明场、暗场、偏光、微分干涉相衬(DIC)等多种观察模式,配备高精度电动载物台和自动对焦系统,可实现大尺寸晶圆(最大12英寸)的全自动扫描与缺陷识别。集成智能分析软件,自动评级、图谱比对、定量测量与报告生成一体化。
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