新闻详情
科普！探针台是什么？应用场景和领域有哪些？
- 分类： 行业知识
- 作者：管理员
- 来源：本站
- 发布时间：2024-12-28
- 访问量： 85
【概要描述】探针台(Probe Station)是一种用于对半导体器件进行电性能测试的设备，用于半导体器件、集成···
科普！探针台是什么？应用场景和领域有哪些？
【概要描述】探针台(Probe Station)是一种用于对半导体器件进行电性能测试的设备，用于半导体器件、集成···
- 分类： 行业知识
- 作者：管理员
- 来源：本站
- 发布时间：2024-12-28
- 访问量： 85
详情
探针台(Probe Station)是一种用于对半导体器件进行电性能测试的设备，用于半导体器件、集成电路和其他微电子元件，被广泛应用于研发、质量控制和生产测试中。
探针台的定义
探针台是一种用于半导体器件电性能测试的关键设备，它通过精密的机械结构、高性能的探针针头和电性能测试仪器，对半导体芯片、集成电路和其他微电子器件进行直接的电性能测试。
探针台具备高精度、高灵敏度以及环境适应性强的特点，能够支持集成光学测试、电磁测试等多种测试手段，为半导体器件的全面性能评估提供有力支持。
探针台结构
探针台其组成部分可以按照不同的功能模块来划分，下面是探针台的主要组成部分：
探针台台体：这是探针台的基础结构，提供一个稳定的平台来承载其他组件，并且通常包含有用于固定晶圆或芯片的夹具；
探针卡或探针座：探针卡是带有多个微小探针的载体，探针会接触芯片上的测试点；
探针头：包括探针臂和探针针尖，针尖直径极小，可以达到微米甚至纳米级别，用于直接接触芯片的测试点；
卡盘（样品台）：用于放置和固定晶圆的平台，可以通过X、Y、Z轴和旋转调整位置；
显微镜系统：用于对准和视觉检查，帮助操作者观察探针与芯片的接触情况，通常配备有高分辨率的CCD摄像头；
控制系统：包括微定位器和运动控制系统，用于精确调整探针和样品的位置，确保探针准确地接触芯片的指定位置；
电气系统（源表）：测试源表是提供测试信号并测量返回信号的设备；
测试软件：软件控制系统用于自动化测试流程，包括晶圆映射、测试程序设定、数据采集和分析；
其它（如果配置）：机械手、真空系统、温度控制系统、气路控制等；
探针台工作原理
通过其精细的结构设计和控制系统，实现对样品的准确测量和分析：
1.定位：通过样品台精确定位待测物（晶圆、芯片等）；
2.视觉辅助：利用光学元件放大观察，确保探针精确对准测量点；
3.固定待测物：使用卡盘固定晶圆或芯片，可能采用夹具或真空吸附；
4.探针控制：通过电磁或压电装置精确控制，探针在样品表面的移动和定位；
5.信号采集：内置传感器实时记录探针与样品相互作用产生的信号；
6.数据处理：对采集的信号进行处理，分析得到样品的形貌和性能信息；
7.自动化测试：手动、半自动或全自动探针台系统完成测试流程。
探针台的应用场景
电性能测试：提供材料/器件的IV/CV特性、霍尔效应等电学性能测试；
光学测试：LD/LED/PD的光强/波长测试，测量光电材料的光电转换效率和稳定性；
失效分析：射频特性等电子器件失效分析，以帮助定位故障点，进行深入分析；
内部线路测试：芯片内部线路/电极/PAD测试，能够精确地将微小连接点的信号引出，便于进一步的测试和分析；
可靠性分析：对材料进行可靠性验证，确保其在各种条件下的稳定性和耐久性；
微纳尺度操控：在纳米尺度上进行纳米材料的电导率、电阻、电容等电学性质的局部测量；
显微镜观察：结合SEM（扫描电子显微镜）或TEM（透射电子显微镜），探针台可以提供从宏观到纳米尺度的多尺度材料表征；
自动化测试：自动化的晶圆处理系统集成，包括晶圆传输、定位和识别系统， 以提高测试效率和减少人为错误；
特殊环境测试：探针台可以在不同的温度、压力 或特殊气体环境中测试芯片；
探针台的应用领域
半导体行业：进行集成电路的电气性能测试，包括晶圆测试和封装后的测试；
光电行业：测试光电元件如LED、光电探测器和激光器的性能，精密电气测量的研发；
材料科学：用于表征材料表面的微观形态，如表面缺陷、晶粒大小等，为材料研究提供支持；
微电子领域：用于复杂、高速器件的精密电气测量，失效分析与可靠性验证，确保质量和可靠性；
纳米技术：纳米材料和纳米结构的制备、表征和性能测试，纳米器件的制造与测试，多尺度研究；
生物医学：研究生物材料表面的生物相容性，生物分子、细胞和组织的高分辨率成像和分析；
科研与教育：在研究所和高校中，探针台用于科研和教学，支持基础和应用研究；
其它领域：能源行业、航天航空、汽车电子、通信技术、量子计算与量子信息、传感器技术等；
关键词：
扫二维码用手机看
上一个
:
冷热台应用行业：广泛且多样，撬动发展新杠杆
下一个
:
没有了！
上一个
:
冷热台应用行业：广泛且多样，撬动发展新杠杆
下一个
:
没有了！
在线留言
WRITE A MESSAGE TO US
客户留言
描述：
热门资讯
-
- 科普！探针台是什么？应用场景和领域有哪些？ 2024-12-28 17:10:45
- 冷热台应用行业：广泛且多样，撬动发展新杠杆 2024-12-20 11:54:58
- 探索冷热台应用材料：开启材料特性深度剖析之旅 2024-12-20 11:41:57
- 科普|冷热台是什么？常见的应用领域与场景有哪些 2024-12-20 11:27:47
- 液氮恒温器的应用行业 2024-12-13 17:52:11
- 液氮低温恒温器的应用材料 2024-12-13 17:50:38
我们的产品
公司多年来秉持互惠共赢的原则与全国各地客户开展贸易合作往来
