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良心国货！嘉仪通科技快速退火炉简介及其应用
- 分类： 学术知识
- 作者：嘉仪通科技
- 来源：本站
- 发布时间：2022-06-01
- 访问量： 708
【概要描述】一、原理参数均采用红外加热方式对炉腔辐射加热，PID模糊控制实现温度升降及保持。能完成特定条件下的热···
良心国货！嘉仪通科技快速退火炉简介及其应用
【概要描述】一、原理参数均采用红外加热方式对炉腔辐射加热，PID模糊控制实现温度升降及保持。能完成特定条件下的热···
- 分类： 学术知识
- 作者：嘉仪通科技
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一、原理参数
均采用红外加热方式对炉腔辐射加热，PID模糊控制实现温度升降及保持。能完成特定条件下的热处理工艺来改变消除材料或晶圆内部缺陷，从而改善其性能。
适用场景：注入离子后的扩散退火、电极合金化、快速热退火、热氧化和热氮化、薄膜CVD生长、晶向化和坚化、石墨烯等气相沉积、ITO膜致密化、器件退火等
快速退火炉系列技术参数一览表
二、部分客户案例及使用场景
合作使用单位：
·清华大学 ·浙江大学 ·中国科学院深圳先进技术研究院
·华中科技大学 ·华南理工大学 ·北京大学深圳研究生院
……
三、部分相关文献
四、关于公司
武汉嘉仪通科技有限公司成立于2009年，是以薄膜物性测量仪器作为战略定位，技术自主创新的高新技术企业。公司集快速退火炉，霍尔效应测试，RTP，RTA，RTO，热电参数测试，Seebeck系数测试，电导率测试，热导率测试，相变温度分析，液氮低温恒温器等物性检测仪器和半导体工艺设备的研发、市场和技术服务于一体，且相继被评为湖北省“百人计划”及武汉市政府“城市合伙人”企业。
公司始终坚持自主研发与应用创新，拥有自己的技术工程师研发团队，建有省级工程实验室、新型研发机构以及市级企业技术中心平台，拥有知识产权100多项，主持承担参与了10余项科技攻关项目。2020 年，公司研发的“薄膜材料热特性测试技术及仪器”技术与产品荣获了“湖北省技术发明一等奖”。核心序列产品广泛应用于大专院校、科研院所、第三方检测机构和工业企业等细分领域，并服务于国内外近500家客户。其中包括华为海思半导体公司、长江存储公司、三安光电、天马微电子、武汉光迅等半导体工业企业；清华大学、国防科技大学、北京航空航天大学、武汉大学等大专院校；绵阳九院、中科院化 学所、中科院电工所、中科院物理所等科研院所；中国计量科学研究院、国家石墨烯质检中心等第三方检测机构。除此之外，核心产品还远销美国、英国、日本、澳大利亚、以色列、香港、澳门、台湾等20多个国家和地区，实实在在为新材料的科研和生产创造了价值。未来，公司依托省级科研共享平台的大数据分析，为全球用户的薄膜技术研究及战略方向提供理论依据与数据支撑。
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