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无油涡旋真空泵

该泵为双侧无油涡旋真空泵，不需要用油密封与润滑，没有返油，能创造清洁真空;能快速达到极限真空;
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半导体关键零部件
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产品参数：

抽速：2.0 I/s；120 I/min；7.2 m³/h；

极限真空：≤5Pa；≤5.0*10-2mbar；

噪音：≤57dB（A）；

漏率：1*10-6mbar·I/s；

最大进/排气压力：1/1.3大气压；

冷却形式：风冷；

 

产品特点：

工作中动、定涡旋盘互不接触，吸气、压缩、排气过程连续进行，无摩擦,噪音低，运行平稳可靠，能耗低，节省运行成本;体积小，重量轻，效率高;不喷油，工作环境干净清洁;不需要日常维护，节省人工费用。

 

产品应用：

该泵主要应用在半导体、分析测试仪器、医疗设备、航空航天、食品药品、新能源、电力、汽车、科学研究等领域的真空存储、真空烘干、真空排气、真空传输、激光管路抽真空、PVD镀膜、液晶注入、等离子清洗、等离子抛光、芯片封装、电池制备、高能束线、加速器抽真空、He质谱检漏、高真空试验、空间环境模拟等制程中。‌


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无油涡旋真空泵
涡旋真空泵
双侧无油涡旋真空泵
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