EFEM洁净传输单元

EFEM本身是所有半导体制程与检测设备的关键洁净组成部分,核心作用是在高洁净环境下完成晶圆的安全转运对接,保障晶圆全程不受污染。如:for Canoon I-Line 5550i EFEM;
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产品特征

支持载具:FOUP/FOSB

可对接天车和AGV

支持LP数量:2~4

FOUP信息读取:支持,兼容RFID&barcode

配置校准器、离子棒、陶瓷机械手臂

可定制软件和功能





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