光罩移栽机 Reticle设备

是半导体光刻产线中‌专用于光罩(Reticle)的自动化搬运、存储、预对准及与光刻机无缝交接的核心物流设备‌,确保高价值光罩在洁净环境下零污染、零损伤流转。‌‌
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产品特征

可兼容主流光罩盒互传

ID(RFID或者barcode)读取

配置CCTV系统

登陆人员权限管理功能

Class1高洁净环境

设备报警功能

可选配光罩PDS和吹扫功能


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