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SIC/GAN晶圆缺陷检测系统-GAUSS Series

GAUSS Series是一款面向SiC/GaN抛光衬底片、同质外延片的自动化晶圆缺陷检测设备。设备集成暗场散射、明场DIC微分干涉相差和光致发光等多种检测手段，可实现自动实时对焦和多通道采集数据功能，具有低噪声和高分辨率成像等优势。采用基于深度学习的自动缺陷检测算法，晶圆检测与数据分析能够并行处理，支持4、6、8寸及非标尺寸，最大可扩展至12寸的SiC/GaN晶圆，可满足对器件良率提升的需求。
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