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台阶仪

探针式台阶仪（Stylus Profiler）采用金刚石探针与样品表面物理接触扫描，通过LVDC（线性可变差分电容）传感器感知探针垂直位移，实现纳米至毫米级台阶高度、表面粗糙度、薄膜应力的高精度测量。垂直分辨率达亚埃级（0.01Å），是半导体晶圆光刻胶台阶、蚀刻深度、CMP平坦度等工艺参数检测的标准设备。
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