FOUP半自动清洗机
相关附件
产品特征
半自动清洗FOUP&FOSB
兼容不同品牌FOUP&FOSB
可有效去除Particle及AMC
可选配N2 purge功能
适用于12寸晶圆厂、封装厂以及FAB等清洗工艺
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