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敏芯半导体用TC-Wafer校准仪给尤尼坦快速退火炉进行温度校准
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- 发布时间：2025-09-02
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【概要描述】2023年8月23日，敏芯半导体采用嘉仪通科技生产的TC-Wafer校准仪，对一台德国尤尼坦（Uni···
敏芯半导体用TC-Wafer校准仪给尤尼坦快速退火炉进行温度校准
【概要描述】2023年8月23日，敏芯半导体采用嘉仪通科技生产的TC-Wafer校准仪，对一台德国尤尼坦（Uni···
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2023年8月23日，敏芯半导体采用嘉仪通科技生产的TC-Wafer校准仪，对一台德国尤尼坦（Unitemp）6吋快速退火炉（RTP）进行了高精度温度校准。这一技术动作为提升半导体工艺中的热处理均匀性与稳定性提供了重要保障，进一步强化了生产环节的工艺控制能力。
在此次校准过程中，TC-Wafer校准仪表现出卓越的测温性能。该设备专注于晶圆级别温场均匀性的测量与校准，可广泛应用于各类对热均匀性要求极高的半导体工艺设备，包括但不限于RTP快速退火炉、MOCVD设备、磁控溅射系统、刻蚀机及涂胶显影机等。
TC-Wafer校准仪的核心优势体现在其高精度与高响应速度。设备测温偏差严格控制在±1.1℃以内，数据采集周期可达200毫秒，能够实时捕捉晶圆表面温度场的细微变化，从而准确评估并优化退火工艺中的热均匀性。
此外，该校准仪具备强大的多通道实时监测能力，标准配置支持同时进行20路温度测量（可根据用户需求定制更多通道），并直观显示实时温度点位图及温度分布云图。操作人员可在工艺运行过程中直接观察各测温点的动态变化，大幅提升了温度监控的透明度与工艺调试的效率。
在半导体制造过程中，热处理环节的温度均匀性直接影响器件性能与良率。快速退火炉广泛应用于离子注入后退火、金属合金化等关键制程，其对温度控制的稳定性要求极高。本次TC-Wafer校准仪的成功应用，不仅验证了该设备在实际产线环境中的可靠性，也为后续更多半导体设备的高标准温学校准提供了范本。
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