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嘉仪通快速退火炉-合金化退火介绍
- 分类： 行业知识
- 作者：管理员
- 来源：本站
- 发布时间：2025-01-16
- 访问量： 1999
【概要描述】半导体材料要实现功能化，意味着要实现电信号的输入与输出，需要半导体材料与金属电极形成良好的欧姆接触。···
嘉仪通快速退火炉-合金化退火介绍
【概要描述】半导体材料要实现功能化，意味着要实现电信号的输入与输出，需要半导体材料与金属电极形成良好的欧姆接触。···
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半导体材料要实现功能化，意味着要实现电信号的输入与输出，需要半导体材料与金属电极形成良好的欧姆接触。通过快速退火将金属与接触材料融合降低接触电阻。
我们以半导体硅和金属钛的合金化退火为例
一定温度下，钛金属和半导体硅材料获得能量互相扩散，在界面处发生熔合，实现更加紧密的接触，从而降低接触电阻。减少因接触问题造成的电学测试干扰，降低功耗，减少发热，提高可靠性和寿命
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